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DIC精度檢驗方法

試驗檢驗

試驗檢驗分為前期檢驗、過程檢驗、最終檢驗。前期檢驗主要檢查計量證書時間的有效性，確保設備精度在有效期內(nèi)。過程檢驗主要檢查測量視野及軟件精度控制。最終檢驗主要檢查計算結(jié)果及設備精度。

前期檢驗

試驗前需檢驗標定板的精度，確保標定板精度有效。標定板的檢驗通常在第三方計量機構(gòu)（如計量院）進行，確保精度可溯源。標定板證書有效期為一年。

檢驗方法

檢驗器具

檢驗頻度

測量標定板對角線編碼點的圓心距離

光學三坐標測量機

一年一次


圖：標定板計量內(nèi)容

實驗前需確保設備精度在有效期內(nèi)，設備的計量檢驗通常在第三方計量機構(gòu)（如計量院）進行，確保精度可溯源。精度計量報告有效期為一年。

檢驗方法

檢驗器具

檢驗頻度

在氣浮導軌平臺上粘貼靶標點或散斑圖案，將氣浮導軌移動一個位移值，將本設備的測量結(jié)果與激光干涉儀的測量結(jié)果進行對比，偏差在0.01mm以內(nèi)。

激光干涉儀及氣浮導軌平臺

一年一次

圖：測量示意圖

過程檢驗

對測量視野進行檢驗，確保測量視野滿足要求，能夠覆蓋樣品觀測區(qū)域。測量視野=相機芯片尺寸*測量距離/鏡頭焦距，通過調(diào)節(jié)測量距離即可獲取合適的測量視野。可將測量視野看做是設備的固有屬性，只需檢驗一次即可。實驗過程中可目測檢驗，即測量視野完全覆蓋樣品區(qū)域。

檢驗方法

檢驗器具

檢驗頻度

將設備架設到合適的測量距離，將卷尺放置于視野內(nèi)，量取視野X方向、Y方向長度。

卷尺或鋼尺

設備固有屬性，檢驗一次即可。

圖：測量視野檢驗

對測量視野景深進行檢驗，確保樣品Z向變形或移動，在相機視野內(nèi)成像依舊清晰。景深的大小與鏡頭光圈值、鏡頭焦距、測量距離等有關，若固定光圈值，可將景深看做是設備的固有屬性，只需檢驗一次即可，若甲方對景深存有疑慮，也可每次搭建起設備測量一次。

檢驗方法

檢驗器具

檢驗頻度

采用直線導軌進行檢驗，在直線導軌端面粘貼靶標點或散斑圖案，將端面正對相機沿Z向移動一定的位移，觀測移動過程中散斑圖像的清晰度，并將本設備計算的Z向位移與卷尺量取的導軌移動位移進行對比。

直線導軌、卷尺

檢驗一次即可，或每次調(diào)整過相機、鏡頭后檢驗一次。

圖：測量示意圖

標定精度對實驗結(jié)果起著至關重要的作用，實驗時需對標定精度進行檢驗。

檢驗方法

檢驗器具

檢驗頻度

按標定步驟進行相機標定，標定誤差在0.05像素以內(nèi)表示合格

無

若相機相對位置不變，一天一次；若相機相對位置變動或調(diào)節(jié)過鏡頭焦距光圈或更換鏡頭，立即標定檢驗。

圖：標定結(jié)果

在樣品表面制備散斑圖案，并將樣品加持到實驗裝置后，相機拍攝樣品靜態(tài)圖片，分析靜態(tài)位移跳動。

檢驗方法

檢驗器具

檢驗頻度

分析樣品鏡頭位移跳動數(shù)據(jù)，全場位移靜態(tài)跳動值在0.01mm以內(nèi)。

無

每標定一次，檢驗一次

圖：靜態(tài)位移數(shù)據(jù)

最終檢驗

實驗結(jié)束后對數(shù)據(jù)進行后處理計算，檢驗計算結(jié)果的sigma。

檢驗方法

檢驗器具

檢驗頻度

檢驗計算結(jié)果的sigma值，sigma值在0.05像素以內(nèi)表示合格

無

每組實驗檢驗一次

采用引伸計標定儀或高精度位移計，將測量結(jié)果與真值進行比較，檢驗絕對誤差。

檢驗方法

檢驗器具

檢驗頻度

將引伸計標定儀或高精度位移計移動一個位移值，作為真值，本設備測量結(jié)果與真值進行比較。

引伸計標定儀或高精度位移計

每半年檢驗一次或?qū)?shù)據(jù)存疑時立即檢驗。

圖：測量結(jié)果